扫描电子显微镜

扫描电子显微镜是一种电子显微镜，能够利用电子束扫描样本表面。这类系统不仅能够拍摄大景深、高分辨率图像，而且可以实现超高的放大率。SEM可搭载元素分析仪，用于确定目标物的化学成分。