同轴落射照明
光学照明技术 - 同轴落射照明
要观察高度反射的平面物体,如IC和横截面样本,采用环状照明是难以完成的。当光线接触表面时,镜头会反射大部分光线,进而形成暗像。与此相反,同轴落射(明视场)照明可观察这些目标物,并生成亮像。一般而言,这种照明需要使用单向透视玻璃,才能匹配照明和镜头的光轴。
- A
- 照明
- B
- 至CCD镜头
- C
- 镜面反射光
- D
- 单向透视玻璃(单向透视玻璃反射一半光线并传送另一半)
- E
- 镜面抛光物体
要观察高度反射的平面物体,如IC和横截面样本,采用环状照明是难以完成的。当光线接触表面时,镜头会反射大部分光线,进而形成暗像。与此相反,同轴落射(明视场)照明可观察这些目标物,并生成亮像。一般而言,这种照明需要使用单向透视玻璃,才能匹配照明和镜头的光轴。