同轴落射照明

光学照明技术 - 同轴落射照明

要观察高度反射的平面物体,如IC和横截面样本,采用环状照明是难以完成的。当光线接触表面时,镜头会反射大部分光线,进而形成暗像。与此相反,同轴落射(明视场)照明可观察这些目标物,并生成亮像。一般而言,这种照明需要使用单向透视玻璃,才能匹配照明和镜头的光轴。

来自平面的镜面反射光示意图
来自某个角度的光以该角度反射
垂直照明的光反射到镜头上
A
镜头
B
照明
C
反射光
同轴落射照明示意图
A
照明
B
至CCD镜头
C
镜面反射光
D
单向透视玻璃(单向透视玻璃反射一半光线并传送另一半)
E
镜面抛光物体
同轴落射照明图例
处理后的金属表面在环状照明下的图像
处理后的金属表面在同轴落射照明下的图像
IC电路在环状照明下的图像
IC电路在同轴落射照明下的图像

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