静电破坏的对策案例

晶圆测试时的静电对策

可靠地对晶圆测试环境进行静电消除。通过在工件附近安装反馈传感器,可以实时监视目标区域的静电消除环境。

剥离晶圆保护膜的静电消除

可以高速进行大范围静电消除。由于会记录将撕膜产生的静电降到目标值以下的静电消除结果,所以万一需要时可以追溯静电消除的过程。

裸片接合时的静电对策

可以在放电前对剥离裸片时产生的静电高速地进行静电消除。此外,还可以削减传统机型* 必不可少的维护工时。

通过IC 测试分选机实现的ESD 对策和保障

超高的离子平衡±1 V,可以在各种IC 上放心使用。此外,还可以确认之前的静电消除环境,万一需要时还可以确认影响时间段。

硅片检验时的静电消除

通过无风型、节能型静电消除器,有望在尽可能削减工厂空气消耗量的同时,取得优越的静电消除效果。

人工操作台的静电消除

1 台即可实现大范围静电消除。通过限制让作业人员不能更改风量等的设定,可以减少工序风险。

印刷电路板检查时的静电破坏对策和保障

可以防止印刷电路板检查时的静电破坏。可以降低检查时合格而在产品组装时或出厂后出现不良的风险。

真空设备内的局部静电消除 / 除尘

即便装置内没有能安装静电消除器的空间,通过接入软管也有望取得静电消除效果。

防止组装相机模块时发生静电破坏

超小型机身,不挑安装位置,可360°全方位进行静电消除。

防止搬运印刷电路板时的ESD、ESA

在搬运部,印刷电路板会因与传送带的接触、剥离而带电。大量带电会引发异物附着和静电破坏,从而导致制造不良。可使用静电消除器去除带电,减少制造不良。

安装前卷轴部的静电消除

通过无风型、节能型静电消除器,有望在尽可能削减工厂空气消耗量的同时,取得优越的静电消除效果。

消除操作台的静电

在单元工序的作业中,不论如何都会产生静电。即便采取接地、导电化等对策,对于部件剥离时的带电或腾空作业时等,仅采取这些对策效果并不充分。可使用静电消除器加强静电对策效果。

防止印刷电路板检测仪的静电破坏

导电检查时探针与印刷电路板间如果有异物附着,则会判断为导电不良,并重新进行检测。这会导致成品率大幅下降。此外,如果是微细探针,还可能会造成静电破坏。使用静电消除器能够解决上述问题。