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将层叠前的电极切割位置反馈到装置。通过正确捕捉电极端部的形状,可高精度地检测边缘位置。通过正确捕捉涂布材料端部的形状,可高精度地检测边缘位置。
2D/3D 线激光测量仪
LJ-X8000 系列
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