晶圆的翘曲测量

用机械手搬运大直径的薄化晶圆时，为了避免晶圆变形或破损，必须对晶圆的翘曲量进行测量和检测。CL 系列适用于各类表面状态的目标物，无论表面是否粗糙、是否镜面、有无图案等，都能进行稳定测量。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

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