槽口的定位

使用 1D 激光位移计检测槽口的位置 ，易产生翘曲变大时光点发生偏移的问题 。LJ-X 系列采用的是通过激光线，因此可应对晶圆翘曲引起的位置偏移。

2D/3D 线激光测量仪

LJ-X8000 系列

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