退火装置的 Z 轴定位

测量激光退火时的晶圆高度。CL 系列采用小型传感器探头，可以装设在装置内的有限空间中。其使用的同轴测量方式，还能在装置与目标物间距发生变化的情况下保持光点位置不变，始终实现准确测量。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列