晶圆载物台的定位

能以 0.25 µm 分辨率实现超高精度测量。由于 SI-F 系列传感头不发热，测量时对周围环境没有温度影响，也避免了因温度漂移导致的测量误差。

微型传感头型分光干涉式 激光位移计

SI-F 系列

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