载物台位置精度测量

对载物台的停止位置精度进行非接触式测量。CL 系列采用小型传感器探头，装设多台也不会占用过多空间。采用彩色共焦方式，可进行大范围的高精度测量。

彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

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