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将在目标物上方和下方安装传感头的夹具与单轴滑动载物台相组合,可测量透明目标物和不透明目标物的厚度分布。解决了使用厚度计时的工时消耗以及因测量人员熟练度而导致的偏差等课题。
分光干涉位移型多层膜厚测量仪
SI-T 系列
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