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测量抽取目标物的涂裱厚度分布。通过组合使用可进行ø30 μm小光点测量的SI系列与XY载物台,能够以非接触方式测量密度非常高的面内涂裱厚度分布。
分光干涉位移型多层膜厚测量仪
SI-T 系列
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