分光干涉位移型多层膜厚测量仪
SI-T 系列
产品规格 分光干涉位移型多层膜厚测量仪 SI-T 系列
控制器
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型号 |
SI-T1000V |
SI-TA100 |
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图像 |
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类型 |
主控制器 一体型 |
扩展控制器*4 |
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独立型 |
SI-T1000/SI-TD500 |
SI-TA100 |
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可连接的光谱单元数 |
2 台 |
1 台 |
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显示 |
最小显示单位 |
0.001 µm |
无 |
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显示范围 |
±999.999 μm到 ±9999.99 mm（可选 7 种设定） |
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显示频率 |
10 次/ 秒 |
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端子台 |
激光远程联锁输入 |
无电压输入*1 |
无*1 |
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计时 1 输入 |
无电压输入2*1 |
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复位 1 输入 |
无电压输入*1 |
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自动归零 1 输入 |
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激光控制输入 |
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模拟输出电压 |
±10V ×2 输出, 输出阻抗100Ω*1 |
±10V ×1 输出, 输出阻抗100Ω*1 |
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模拟电流输出 |
4 到20mA ×2 输出, 最大负载阻抗 350Ω*1 |
4 到20mA ×1 输出 , 最大负载阻抗 350Ω*1 |
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报警输出 |
NPN 开集极输出（N.C.）*1 |
无*1 |
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一般比较器输出 |
NPN 开集极输出*1 |
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扩展连接器 |
计时输入 |
无电压输入2*1 |
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复位输入 |
无电压输入*1 |
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自动调零输入 |
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程序切换输入 |
无电压输入 ×3 输入*1 |
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报警输出 |
NPN 开集极输出（N.C.）*1 |
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判定、二进位输出 |
二进制输出 |
测量数据输出（21bit） , 可选OUT |
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选通脉冲输出 |
NPN 开集极输出*1 |
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二进制选择器输出 |
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二进制选择输入 |
无电压输入*1 |
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RS-232C 接口 |
测量数据输出和控制输入/ 输出 |
无 |
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USB 接口 |
兼容USB2.0 HI-SPEED（ 兼容USB1.1 Full-SPEED） |
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Ethernet 接口 |
100Base–TX/10Base–T |
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主要功能 |
测量面设定/ 测量面间计算功能、层数校验功能、光量累计功能、偏转自动补偿功能、12OUT 同时测量功能、计算功能、平均功能、滤波功能、校正功能、测量功能、测量值警报设定功能、容差设定功能、自动调零功能、数据存储功能、光线监控功能、8 程序存储器功能、遮罩功能、设定支持软件连接功能等 |
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额定 |
电源电压 |
24VDC±10% 脉动10%（P–P）以下 |
随主控制器提供 |
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消耗电流 |
连接1 个传感头时 0.6A 以下 |
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环境抗耐性 |
环境温度 |
0 到+50°C*2 |
0 到+50°C*5 |
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相对湿度 |
35 到85%RH 无冷凝 |
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抗震性 |
10 到55Hz，XYZ 方向上0.5 mm 双倍振幅，各2 小时*3 |
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重量 |
约600g |
约300g |
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*1 NPN 开路集电极输出额定输出：最大 50mA（最大 40V），残余电压最大 0.5V |
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传感头
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型号 |
SI-T10*1 |
SI-T80 |
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图像 |
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类型 |
多层位移测量型 传感头 |
长距离厚度测量型 传感头 |
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分光单元 |
SI-T10U |
SI-T80U |
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测量范围 (折射率n=1) |
0.01 到1.0 mm |
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参考距离 |
9 mm*2 |
80 mm*2 |
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测量用光源 |
红外SLD , 输出1 mW , 1 类激光产品（IEC60825-1） |
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光束直径 |
ø30 µm*3 |
φ25 μm*3 |
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线性度 |
±0.3 µm*4 |
±0.3 µm*7 |
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分辨率 |
0.01 µm (0.25 µm)*5*6 |
0.01 µm*6 |
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采样周期 |
1 ms |
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LED显示 |
目标靠近测量中心：绿光。目标在测量范围内：橙光。目标在测量范围外：橙光闪烁。 |
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环境抗耐性 |
外壳防护级 |
IP64 |
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环境光照 |
白炽灯、荧光灯:10000 lux 以下 |
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环境温度 |
0 到+40°C |
0 到+50°C |
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相对湿度 |
35 到85%RH（无冷凝） |
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抗震性 |
10 到55Hz，XYZ 方向上1.5 mm |
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材料 |
SUS304 |
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重量 |
约 70g （含连接线） |
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*1 传感头和分光单元已经配套调整完毕。无兼容性。 |
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专用 PC 软件
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型号 |
SI-H1T*1 |
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图像 |
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类型 |
PC软件 |
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支持 OS |
Windows 11 Pro /Windows 10*2/Windows 7（ SP1 以后）*3/Windows Vista（ SP2 以后）*4/Windows XP（ SP3 以后）*5 |
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CPU |
Pentium Ⅲ 1GHz 以上（建议使用1.7GHz 以上） |
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存储器容量 |
256MB 以上（建议使用1GB 以上） |
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硬盘可用空间 |
1GB 以上 |
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显示器 |
1024x768 像素、24bit 真彩色以上 |
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PC接口 |
配置有以下任意一种接口： |
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*1 用户使用的OS应在建议运行环境以上版本的环境中使用。 |
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