分光干涉位移型多层膜厚测量仪
SI-T 系列
控制器 SI-T1000
规格
型号 | SI-T1000 | |||
类型 | 主控制器 独立型*1 | |||
可连接的光谱单元数 | 2 台 | |||
显示 | 最小显示单位 | 0.001 µm | ||
显示范围 | ±999.999 μm到 ±9999.99 mm(可选 7 种设定) | |||
显示频率 | 10 次/ 秒 | |||
端子台 | 激光远程联锁输入 | 无电压输入*2 | ||
计时 1 输入 | 无电压输入2*2 | |||
复位 1 输入 | 无电压输入*2 | |||
自动归零 1 输入 | ||||
激光控制输入 | ||||
模拟输出电压 | ±10V ×2 输出, 输出阻抗100Ω*2 | |||
模拟电流输出 | 4 到20mA ×2 输出, 最大负载阻抗 350Ω*2 | |||
报警输出 | NPN 开集极输出(N.C.)*2 | |||
一般比较器输出 | NPN 开集极输出*2 | |||
扩展连接器 | 计时输入 | 无电压输入2*2 | ||
复位输入 | 无电压输入*2 | |||
自动调零输入 | ||||
程序切换输入 | 无电压输入 ×3 输入*2 | |||
报警输出 | NPN 开集极输出(N.C.)*2 | |||
判定、二进位输出 | 二进制输出 | 测量数据输出(21bit) , 可选OUT | ||
选通脉冲输出 | NPN 开集极输出*2 | |||
二进制选择器输出 | ||||
二进制选择输入 | 无电压输入*2 | |||
RS-232C 接口 | 测量数据输出和控制输入/ 输出 | |||
USB 接口 | 兼容USB2.0 HI-SPEED( 兼容USB1.1 Full-SPEED) | |||
Ethernet 接口 | 100Base–TX/10Base–T | |||
主要功能 | 测量面设定/ 测量面间计算功能、层数校验功能、光量累计功能、偏转自动补偿功能、12OUT 同时测量功能、计算功能、平均功能、滤波功能、校正功能、测量功能、测量值警报设定功能、容差设定功能、自动调零功能、数据存储功能、光线监控功能、8 程序存储器功能、遮罩功能、设定支持软件连接功能等 | |||
额定 | 电源电压 | 24VDC±10% 脉动10%(P–P)以下 | ||
消耗电流 | 连接1 个传感头时 0.6A 以下 | |||
环境抗耐性 | 环境温度 | 0 到+50°C*3 | ||
相对湿度 | 35 到85%RH 无冷凝 | |||
抗震性 | 10 到55Hz,XYZ 方向上0.5 mm 双倍振幅,各2 小时*4 | |||
重量 | 约600g | |||
*1 可独立使用 SI-T1000。可使用显示屏(SI-TD500)或设定支持软件(SI-H1T)显示测量值并更改设定。 |