干涉式同轴 3D 位移测量仪
WI-5000 系列
产品规格 干涉式同轴 3D 位移测量仪 WI-5000 系列
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型号 |
WI-001*1*2*3 |
WI-004*1*2*3 |
WI-010*1*2*3 |
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图像 |
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参考距离 |
18 mm |
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测量范围 |
Z |
1.4 mm(标准模式)，0.7 mm(高速模式) |
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XY |
1 × 1 mm |
4 × 4 mm |
10 × 10 mm |
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最小检测区域 |
4 × 4 µm |
15 × 15 µm |
40 × 40 µm |
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重复精度(段差) |
0.1 µm*4 |
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直线性(段差) |
±2.8 µm(±0.2% of F.S.，F.S.=1.4 mm，+20 至+30℃)*5 |
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测量用光源 |
类型 |
红外线SLD |
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中心波长 |
830 nm |
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激光分类(IEC60825-1, GB7247.1) |
3R 类 |
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输出 |
3.6 mW |
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引导用光源 |
类型 |
红色半导体激光 |
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波长 |
660 nm |
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激光分类(IEC60825-1, GB7247.1) |
1 类 |
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输出 |
0.15 mW |
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采样周期 |
内部触发 |
133 ms(高速模式)，266 ms(标准模式) |
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外部触发 |
最快 266 ms(高速模式)，最快 532 ms(标准模式)*6 |
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环境抗耐性 |
环境光照 |
白炽灯/荧光灯：5,000 lux 以下 |
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环境温度 |
0 至 +35 °C |
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相对湿度 |
20 至 85 % RH (无凝结) |
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重量 |
约 3000 g |
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*1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice 的要求而实施的。高度(从测量头的基准面到测量工件的距离)的分辨率为 1µm(*2)。 |
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型号 |
WI-5000 |
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图像 |
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测量头连接台数 |
1 台 |
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设定注册数 |
SD 卡 1、SD 卡 2 分别可保存 1000 个(取决于 SD 卡容量及设定内容)，可进行外部切换 |
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测量工具数 |
100 个/ 设定(其中20 个为位置偏移补正用) |
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测量模式 |
高度 |
高度测量、段差测量、多点高度测量(固定配置)、多点高度测量(自由配置)、轮廓测量、连续高度测量 |
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图像尺寸测量 |
距离测量、宽度测量、直线检测、角度测量、圆检测、点检测 |
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辅助功能 |
数值计算、图像范围生成、直线显示、圆显示、点显示、刻度线显示 |
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接口 |
控制输入 |
20 点(输入端子台5 点，并联 I/O15 点) |
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控制输出 |
・28 点(输出端子台 6 点，并联I/O 22 点) |
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RS-232C |
数值输出及控制输入输出(无法与使用 RS-232C 端口的 PLC 链接同时使用) |
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PLC 链接 |
使用 Ethernet 端口或 RS-232C 端口进行数值输出及控制输入输出(无法与 EtherNet/IP™ 同时使用。使用 RS-232C 端口时，无法与 RS-232C 无协议通信同时使用) |
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Ethernet |
・数值输出及控制输入输出 |
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USB |
・与基恩士生产的PC 应用软件连接后，除了数值输出、控制输入输出以外，还能进行包含检测设定的上传、下载、各种模拟、图像数据在内的各种数据的收发、远程连接 |
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EtherNet/IP™ |
・使用Ethernet 端口进行数值输入输出及控制输入输出(无法与PLC 链接同时使用) |
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鼠标 |
可使用选配件的专用鼠标(8与控制器包装在一起)进行各种菜单操作 |
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USB HDD |
通过将专用的USB 端口(符合USB3.0，支持总线电源：额定输出 900 mA)连接到HDD(最大 2 TB)，可输出包含图像数据在内的各种数据 |
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显示器输出 |
模拟 RGB 输出 XGA 1024 × 768(24 bit 彩色，60 Hz) |
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最小显示单位 |
0.1 µm、0.001°、0.0001 mm2、0.00001 mm3 |
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显示语言 |
简体中文/ 繁体中文/ 日文/ 英文/ 韩文 切换(初次启动时决定初始语言) |
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额定 |
最大消耗电流 |
2.7 A |
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电源电压 |
24 VDC ±10 % |
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环境抗耐性 |
环境温度 |
0 至 +45 °C (DIN 导轨安装)、0 至 +40 °C (底面安装) |
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相对湿度 |
35 至 85 % RH (无凝结) |
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重量 |
约 2,000 g |
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*1 支持NPN 输入设备的+ 共用连接、支持PNP 输入设备的- 共用连接均可。 |
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型号 |
WI-S1 |
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图像 |
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XY 载物台移动量 |
X 轴：75 mm，Y 轴：50 mm |
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XY 载物台倾斜角度 |
±2 度 |
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Z 轴载物台移动量 |
粗调节轮：64 mm，微调节轮：2.0 mm |
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外形尺寸(可动部位除外) |
宽度 231 × 高度 408 × 深度 360 mm |
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重量 |
约 10 kg |
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型号 |
WI-C3 |
WI-C5 |
WI-C10 |
WI-C3L |
WI-C5L |
WI-C10L |
WI-C3R |
WI-C5R |
WI-C10R |
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图像 |
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类型 |
测量头连接电缆 标准 |
测量头连接电缆 高柔性 |
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末端形状 |
直型 |
L 型 |
直型 |
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长度 |
3 m |
5 m |
10 m |
3 m |
5 m |
10 m |
3 m |
5 m |
10 m |
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