干涉式同轴 3D 位移测量仪
WI-5000 系列
测量头 WI-001
规格
型号 | WI-001*1*2*3 | |||
参考距离 | 18 mm | |||
测量范围 | Z | 1.4 mm(标准模式)，0.7 mm(高速模式) | ||
XY | 1 × 1 mm | |||
最小检测区域 | 4 × 4 µm | |||
重复精度(段差) | 0.1 µm*4 | |||
直线性(段差) | ±2.8 µm(±0.2% of F.S.，F.S.=1.4 mm，+20 至+30℃)*5 | |||
测量用光源 | 类型 | 红外线SLD | ||
中心波长 | 830 nm | |||
激光分类(IEC60825-1, GB7247.1) | 3R 类 | |||
输出 | 3.6 mW | |||
引导用光源 | 类型 | 红色半导体激光 | ||
波长 | 660 nm | |||
激光分类(IEC60825-1, GB7247.1) | 1 类 | |||
输出 | 0.15 mW | |||
采样周期 | 内部触发 | 133 ms(高速模式)，266 ms(标准模式) | ||
外部触发 | 最快 266 ms(高速模式)，最快 532 ms(标准模式)*6 | |||
环境抗耐性 | 环境光照 | 白炽灯/荧光灯：5,000 lux 以下 | ||
环境温度 | 0 至 +35 °C | |||
相对湿度 | 20 至 85 % RH (无凝结) | |||
重量 | 约 3000 g | |||
*1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice 的要求而实施的。高度(从测量头的基准面到测量工件的距离)的分辨率为 1µm(*2)。 | ||||
