3D轮廓仪 / 形状轮廓测量仪
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3D 轮廓测量仪“VR-6000 系列”以非接触方式直接实现粗糙度仪、形状轮廓测量仪的测量。3D 轮廓测量仪以 0.1 µm 分辨率捕捉触针式无法充分测量的面整体形状。还新搭载了电动旋转单元。在旋转样品的同时进行测量，能够消除死角，再现真实的截面形状。可简单测量壁厚及凹陷尺寸。另外，采用 HDR 扫描算法提升了扫描能力，即使是光学轮廓测量仪不擅长的有光泽的目标物或材料反光弱的目标物，也能瞬间判断理想条件，正确测量形状。与传统机型*相比，能够将动态范围最大扩大到 1000 倍进行扫描。*与本公司VR-5000 产品的比较
采用了三重扫描方式，运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的细微粗糙度，以及镜面体，透明体等。VK拥有应对多种样品的测量能力（从 1 nm 到 50 mm），纳米/微米/毫米一台完成测量。
