测量5
反射型2D激光移位计
使用2D激光移位计同时测量基础面和工件,并根据获取的形状测量高度差,以此求出厚度。
要点
如果工件与基础面之间产生间隙,则会产生误差。
①
使用如平板一般面精度较高的基础面。
②
利用真空吸附或磁力吸附。
等,
提高紧密性至关重要。
LJ-X系列
2D三角测量方式
通过激光线束实现多点测量
超高速 64000次拍摄/ 秒
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LT系列
共焦方式
光点直径φ2 μm
薄膜测量能力较高
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tcm:115-1582560-64