测量2
反射型激光移位计 ＋ X-Y载物台
通过组合使用1D激光移位计与X-Y载物台，可进行高精度的3D形状测量。
要点
通过区分使用传感头，可测量各种高度的形状。
还可测量透明体的3D形状。
LK-G系列
三角测量方式
超高度392 kHz采样
可连接12台传感头
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SI系列
分光干涉方式
超分辨率1 nm
配备φ2 mm微型传感头
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tcm:115-1582376-64
